Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Варзарёв Юрий Николаевич

кандидат технических наук, доцент


Область научных интересов – методы измерения параметров полупроводниковых материалов и приборов, релаксационная спектроскопия глубоких уровней (DLTS), дефекты в широкозонных полупроводниках, пористые полупроводники.

Основные публикации

  • Светличный А.М., Поляков В.В., Варзарёв Ю.Н. Формирование пленок диоксида кремния фотохимическим разложением тетраэтоксисилана// Микроэлектроника, 2001, т.30, №1 - С. 21-31.
  • Милешко Л.П., Варзарёв Ю.Н. Кинетические и термодинамические особенности анодного окисления карбида кремния в электролитах на основе этиленгликоля. Физика и химия обработки материалов, 2000, №2, с.45-48
  • Варзарёв Ю.Н. Релаксация емкости в структурах металл-пористый SiC – монокристаллическийSiC. Известия ТРТУ, №9, 2005, с. 98

Методические разработки

  • Варзарёв Ю.Н. Иванцов В.В., Спиридонов Б.Г. Руководство к лабораторно-практическим занятиям на базе учебно-лабораторного комплекса NI ELVIS. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. – 47 с.
  • Варзарёв Ю.Н. Иванцов В.В., Спиридонов Б.Г. Методическое пособие «Разаработка и тестирование электронных устройств на основе технологии виртуальных приборов National Instruments» Ч.1. Моделирование электронных схем в системе Multisim. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. – 81 с.
  • Джуплин В.Н., Варзарёв Ю.Н.. Руководство к лабораторным работам по курсам "Материаловедение и материалы электронных средств", "Материалы и элементы электронной техники", "Материалы электронной техники". Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. - 42 c.

Читаемые курсы:

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru