Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Поляков Вадим Витальевич

кандидат технических наук, доцент
заведующий кафедрой


Область научных интересов - технология микро- и наноэлектроники.

В качестве руководителя и ответственного исполнителя за последние 10 лет выполнено НИОКР на сумму более 80 млн.руб., результаты которых внедрены в производство и широко используются в учебном процессе. При непосредственном участии Полякова В.В. в 2006-2010 г.г. в рамках Федеральных целевых программ «Образование» и «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации» создан и оборудован крупнейший на Юге России научно-образовательный центр «Нанотехнологии», а также центр коллективного пользования «Нанотехнологии».

В 2002-2013гг. Поляков В.В. руководил научно-исследовательской работой на факультете как заместитель декана факультета электроники и приборостроения по научной работе. Является руководителем центра коллективного пользования «Нанотехнологии» ЮФУ. В 2011 году присвоено звание «Почетный работник высшего профессионального образования Российской Федерации».

С 11 ноября 2013г. Поляков В.В. исполняет обязанности заведующего кафедрой нанотехнологий и микросистемной техники.

Опубликовано более 80 научных работ (в том числе 4 монографии и 8 патентов на изобретения).

Основные публикации

  • Сеченов Д.А., Светличный А.М., Поляков В.В. Фотостимулированные технологические процессы в кремниевых структурах. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2002. - 103 с.
  • Фотостимулированные процессы окисления карбида кремния. // Касимов Ф.Д., Гусейнов Я.Ю., Светличный А.М., Поляков В.В., Кочеров А.Н. Изд.-во Мутарджим, Баку, 2005г. – 84 с.
  • Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Киселев В.С., Конакова Р.В., Лебедев А.А., Миленин В.В., Охрименко О.Б., Поляков В.В., Светличный А.М., Чередниченко Д.И. Карбид кремния: технология, свойства, применение/Под общей редакцией член-корр. НАНУ, д.ф.-м.н., проф. А.Е. Беляева и д.т.н., проф. Р.В. Конаковой. - Харьков: НТК «Институт монокристаллов». Изд-во «ИСМА», 2010. – 532 с.
  • Скубилин М.Д., Поляков В.В., Спиридонов Б.Г. Электронная техника: Производство, применение. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. – 320 с.
  • A.M. Svetlichnyi, V.V. Polyakov, A.N. Kocherov. Modeling of silicon carbide oxidation process under simultaneous influence of infrared and ultraviolet exposure// Abstract IV International Seminar on Silicon Carbide and Related Materials. ISSCRM-2002 - Novgorod the Great, Russia 30-31 May - 2002 - p.78.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Зондовая фотонно-стимулированная нанолитография структур на основе пленки титана // Микроэлектроника, Т. 36, №6, 2007. – С. 403-408
  • Yu. Yu. Bacherikov, N. L. Dmitruk, R. V. Konakova, O. S. Kondratenko, O. S. Lytvyn, V. V. Milenin, O. B. Okhrimenko, L. M. Kapitanchuk, A. M. Svetlichnyi, V. V. Polyakov and A. A. Shelcunov // Effect of rapid thermal annealing on the properties of thin dielectric films of gadolinium, titanium, and erbium oxides on the silicon carbide surface. - Journal of Technical Physics, - Volume 52, Number 2, February, 2007. – Р. 253-257.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Исследование режимов фотонностимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №1. – С. 1-3.
  • O.A. Ageev, N.I. Alyab’eva, B.G. Konoplev, V.V.Polyakov, V.A. Smirnov // Photoactivation of the processes of formation of nanostructures by local anodic oxidation of a titanium film/ - Semiconductors, Vol. 44, № 13, 2010 – Р.1703-1708.

Методические разработки

Читаемые курсы

  • Технология микросистем (210108)
  • Биомедицинские нанотехнологии (210601)
  • Материаловедение и технология конструкционных материалов (200503, 120303, 210202)
  • Взаимодействие поверхности твердого тела с окружающей средой (210100)

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru