Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Коломийцев Алексей Сергеевич

кандидат технических наук, ассистент


Область научных интересов –электронная микроскопия, фокусированные ионные пучки,взаимодействие ионов с твердым телом, методы диагностики и анализа наноструктур, разработка и исследование технологических процессов изготовления элементной базы приборов наноэлектроники.

Опубликовано более 50 научных работ, в том числе 15 работ в реферируемых изданиях, имеет 2 патента на изобретения.

Основные публикации

  • B. G. Konoplev, Ageev O.A., Kolomiitsev A.S. Formation of Nanosize Structures on a Silicon Substrate by Method of Focused Ion Beams // Semiconductors, 2011, vol. 45, No 13, pp.1709-1712.
  • O. A. Ageev, O. I. Il’in, A. S. Kolomiytsev, B. G. Konoplev, M. V. Rubashkina, V. A. Smirnov, and A. A. Fedotov, V.A. Smirnov Development of a technique for determining young’s modulus of vertically aligned carbon nanotubes using the nanoindentation method // Nanotechnologies in Russia, 2012, Vol. 7, Nos. 1–2, pp. 47–53.
  • Б.Г. Коноплев, Агеев О.А., Смирнов В.А., Коломийцев А.С., Сербу Н.И. Модификация зондов для сканирующей зондовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков // Микроэлектроника, 2012, т.41, №1, с.47-56.
  • Б.Г. Коноплев, Агеев О.А., Смирнов В.А., Коломийцев А.С., Ильин О.И. Модификация зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии методом фокусированных ионных пуков // Нано- и микросистемная техника. №4, 2011, с.4-8.
  • B.G. Konoplev, O.A. Ageev, V.A. Smirnov, A.S. Kolomiitsev, N.I. Serbu Probe modification for scanning probe microscopy by the focused ion beam method // Russian Microelectronics, 2012, Vol. 41, No. 1, pp. 41–50.

Методические разработки

  • Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А, Коломийцев А.С. Руководство к выполнению лабораторной работы «Работа с модулем FIB UHV нанотехнологического комплекса «НАНОФАБ» НТК-9». Ч. 3, Изд-во: ТТИ ЮФУ, 2010. - 48 с.

Читаемые курсы:

  • Методы диагностики и анализа микро- и наноситем (210601)
  • Диагностика, контроль и испытания полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (210104)
  • Методы и устройства испытаний ЭВС
  • Проектирование интегральных микросхем

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru