Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Блинов Юрий Фёдорович

кандидат технических наук, доцент


Область научных интересов физико-математические проблемы технологии микроэлектроники, математическое моделирование нелинейных процессов переноса. Опубликовано более 120 научных и научно-технических работ в отечественных и зарубежных изданиях. Принимал активное участие в становлении и развитии микроэлектроники в ТРТИ/ТРТУ/ТТИ ЮФУ. Являлся руководителем ряда научно-исследовательских работ в области технологии микроэлектроники. Вносит большой вклад в подготовку научно-педагогических кадров университета. На преподавательской работе с 1969 г.

Основные публикации

  • Блинов Ю.Ф., Серба П.В. Математическое моделирование процессов ионно-лучевого перемешивания. Микроэлектроника, 2000, №1, с. 59-63.
  • Serba P.V., Blinov Yu.F. Mechanism lattice relaxation the theory of ion beam mixing. Nuclear Instruments and Methods. 2000, v. B160, p. 231-234.
  • Блинов Ю.Ф., Серба П.В. Искажение профилей распределения примесей при и\змерении методом ВИМС. Поверхность. 2000, №3, с. 71-74.

Методические разработки

Читаемые курсы:

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru