Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Авдеев Сергей Петрович

кандидат технических наук, доцент


Область научных интересов – вакуумная техника и вакуумные технологические процессы (осаждение материалов, получение тонких и толстых плёнок различных материалов, модификация поверхности); взаимодействие электронного пучка с рельефными и гладкими поверхностями полупроводников и диэлектриков; применение электронного луча в производстве оптических, электронных, микроэлектронных и других видов приборов; синтез стеклообразных пленок золь-гель методом; технология полупроводниковых материалов. Проектирование и конструирование вакуумного оборудования для электронно-лучевой обработки поверхности материалов и элементов приборов. Разработка технологических процессов электронно-лучевой обработки элементов прибора с целью получения определенных характеристик данного прибора.

Опубликовано 62 научные работы, получено авторское свидетельство на устройство электронно-лучевой обработки материалов.

Основные публикации

  • Авдеев С.П., Чередниченко Д.И. Электронно-лучевая обработка микроканальных пластин. //Вакуумная техника и технология. 1996 Т.6. №3, с. 23-26.
  • Авдеев С.П., Хебников И.И., Джуплин В.Н. Соловьев С.И. Белых В.Н. Кокурин В.И. Стрельцов Н.А. О некоторых проблемах карбид–кремниевой технологии. //Известия ТРТУ. Специальный выпуск “Материалы 42-й научно-технической конференции”. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1997. № 2(5), с.159–163
  • Авдеев С.П., Музыков П.Г. Электронно-лучевая обработка пленок хрома на восстановленном свинцово-силикатном стекле. //Известия ТРТУ. Специальный выпуск “Материалы 42-й научно-технической конференции”. Таганрог: Изд-во ТРТУ,1997. №2(5), с.168
  • Авдеев С.П., Милешко Л.П. Музыков П.Г. Чередниченко Д.И. Перспективы применения электронно-лучевой обработки для модификации золь-гельных пленок легированного диоксида кремния. //Физика и химия обработки материалов. 1998, №2, с.77?83.
  • Милешко Л.П., Нестюрина Е.Е. Состав, строение и свойства легированных анодных оксидных пленок кремния. // Физика и химия обработки материалов. 2003, №3, с.47-52.
  • Авдеев С.П., Агеев О.А., Светличный А.М., Сеченов Д.А., Конакова Р.В., Кудрик Я.Я., Литвин О.С., Миленин В.В. Модификация параметров контактов металл-карбид кремния импульсной термообработкой. //Физика и химия обработки материалов. 2004, №6, с.84-88
  • S.P. Avdeev, O.A. Agueev, R.V. Konakova, Ya.Ya. Kudryk, O.S. Lytvyn, P.M. Lytvyn, V.V.Milenin, D.A. Sechenov, A.M. Svetlichny, S.I. Soloviev, T.S. Sudarshan Effect of pulse thermal treatments on the Ni(Ti)/n-21R(6H)-SiC contact parameters.// Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics. 2004. V. 7, N 3. P. 272-278.

Методические разработки

Читаемые курсы:

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru