Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Агеев Олег Алексеевич

доктор технических наук, профессор


Область научных интересов - стимулированные фотонным, ионно- и электронно-лучевым воздействием физико-химические процессы технологии микро- и наноэлектроники; разработка и исследование технологических процессов изготовления элементной базы приборов наноэлектроники; твердофазные процессы в полупроводниках и диэлектриках при импульсной термообработке некогерентным излучением и электронно-лучевыми потоками; разработка и исследование технологических процессов формирования контактов к активным элементам приборов экстремальной электроники.

Опубликовано 147 научных работ, имеет 9 авторских свидетельств и патентов на изобретения.

Основные публикации

  • Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Конакова Р.В., Миленин В.В., Пилипенко В.А. Фазы внедрения в технологии полупроводниковых приборов и СБИС. - Харьков: НТК “Институт монокристаллов”, 2008. - 392 с.
  • Агеев О.А., Достанко А.П., Толочко Н.К., Бордусов С.В. Интенсификация процессов формирования твердотельных структур концентрированными потоками энергии. - Минск: Бестпринт, 2005. 682 с.
  • Агеев О.А. Проблемы технологии контактов к карбиду кремния. – Таганрог. Изд-во ТРТУ, 2005. – 250 с.
  • Агеев О.А. Быстрая термообработка некогерентным ИК-излучением контактов к карбиду кремния. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2003. – 128 с.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Зондовая фотонно-стимулированная нанолитография структур на основе пленки титана // Микроэлектроника, Том 36, № 6, 2007. - С. 403-408
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Исследование режимов фотонностимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №1. – С. 1-3.
  • Литвинов В.Л., Демаков К.Д., Агеев О.А., Светличный А.М., Конакова Р.В., Литвин П.М., Литвин О.С., Миленин В.В. Особенности формирования и характеристики диодов Шоттки Ni/21R-SiC // Физика и техника полупроводников. 2003, т.37, в.4., с.473-478.
  • O.A. Ageev, B. G. Konoplev, V. V. Polyakov, A. M. Svetlichnyi, V. A. Smirnov Photoassisted Scanning-Probe Nanolithography on Ti Films // Russian Microelectronics, 2007, Vol. 36, No. 6, pp. 353–357.
  • Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Иванов В.Н., Конакова Р.В., Кудрик Я.Я., Литвин П.М., Миленин В.В. Саченко А.В. Диоды с барьером Шоттки Au?TiBx?n-6H-SiC: особенности токопереноса в выпрямляющихи невыпрям-ляющих контактах// Физика и техника полупроводников, 2009, том 43, вып. 7, с. 897 - 903
  • Kuzharov A. S. Bulgarevich V. E. Burlakova A. A. Akimova E. E. Konoplev B. G. Ageev O. A. Molecular Mechanisms of Self-Organization in Friction. Part VII. Fluctuations of the Tribo-EMF and Stepwise Coagulation of Copper Nanoclusters when the Servovit Film Appears under the Effect of Wearlessness // Journal of Friction and Wear, 2009, Vol. 30, No. 4, pp. 271–276.
  • Агеев О.А., Громов А.Л.. Коломийцев А.С. Моделирование параметров взаи-модействия ионов галлия с кремниевой подложкой в методе фокусированных ионных пучков // Известия вузов. Сев.-Кавк. регион. Технические науки. Специальный выпуск. Мехатроника. Современное состояние и тенденции раз-вития. - 2009. - стр. 162-164
  • Агеев О.А., Ю.В. Сюрик, В.С. Климин, А.А. Федотов Получение нанокомпо-зитных полимерных материалов, модифицированных углеродными наност-руктурами, на основе НАНОФАБ НТК-9 // Известия ЮФУ. Технические нау-ки, № 1, 2009, с. 135 - 142
  • Коноплев Б.Г., Агеев О.А. Элионные и зондовые нанотехнологии для микро- и наносистемной техники // Известия ЮФУ. Технические науки, № 12, 2008, с. 165 - 174
  • Агеев О.А. Термодинамический анализ твердофазных взаимодействий в контактах Ni/SiC //Известия вузов. Электроника. 2005. №2. С. 42 ? 48.
  • Agueev O.A., Svetlichny A.M., Soloviev S.I. Simulation of incoherent radiation absorption in 3C-, 6H- and 4H-SiC at rapid thermal processing // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. 2000, v.3, no.3, p.379-382.
  • Litvinov V.L., Demakov K.D., Agueev O.A., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Lytvyn O.S., Milenin V.V. Evolution of structural and electrophysical parameters of Ni/SiC contacts at rapid thermal annealing // Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2002, vol. 5, №4, p. 457 ? 464.
  • Agueev O.A., Avdeev S.P., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Milenin V.V., Lytvyn P.M., Lytvyn O.S., Okhrimenko O.B., Soloviev S.I., Sudarshan T.S. Surface preparation of 6H-SiC substrates by electron beam annealing // Materials Science Forum, vol. 483-485 (2005), p. 725 ? 728.
  • Litvinov V.L., Demakov K.D., Agueev O.A., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Milenin V.V. Investigation of the Effect of Rapid Thermal Annealing Modes on the Parameters of Ni/21R-SiC Contact // Materials Science Forum, vol. 389-393 (2002), p. 905 ? 909.

Методические разработки

  1. Агеев О.А., Коломийцев А.С., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к вы-полнению лабораторных работ с использованием многофункционального на-нотехнологического комплекса НАНОФАБ. Ч. I.. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2009, 40 стр.
  2. Агеев О.А., Коломийцев А.С., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к вы-полнению лабораторных работ с использованием многофункционального на-нотехнологического комплекса НАНОФАБ. Ч. II. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2009, 40 стр.
  3. Агеев О.А., Гусев Е.Ю., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к выполне-нию лабораторной работы “Изучение поверхности твердых тел методом атом-но-силовой микроскопии на СЗМ NanoEducator”, Ч.1. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2007, 38 стр.
  4. Агеев О.А., Гусев Е.Ю., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к выполне-нию лабораторной работы “Исследование поверхности твердых тел методом сканирующей туннельной микроскопии на СЗМ NanoEducator”, Ч.2. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2007, 38 стр.
  5. Агеев О.А., Мамиконова В.М., Петров В.В., Котов В.Н., Негоденко О.Н. Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин: Учебное пособие. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000. 153 с.
  6. Сеченов Д.А., Агеев О.А. Руководство для практических занятий по курсу «Физические основы микроэлектроники». – Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1998. – 74 с.
  7. Светличный А.М., Агеев О.А., Поляков В.В., Соловьев С.И. Руководство к ла-бораторным работам по курсам: “Специальные вопросы технологии РЭА", "Технология БИС и БГИС”, "Технология ППП и ИС", ч.2 (руководство)
  8. Ягупов А.Е., Агеев О.А. Учебно-Методическое пособие по курсу ‘Технико-экономическое проектирование’ (учебное пособие) Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1998. -84 с.
  9. Агеев О.А., Сеченов Д.А., Светличный А.М. Руководство к лабораторным ра-ботам по курсам "Технология полупроводниковых приборов”, “Технологиче-ские процессы микроэлектроники” (руководство) Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1998. -25 с.

Патенты:

  1. Сеченов Д.А., Светличный А.М., Агеев О.А. Способ изготовления ИМС А.С. СССР № 1804241, 1991
  2. Сеченов Д.А., Светличный А.М., Агеев О.А. Способ геттерирования структур ИМС Патент РФ № 2029410, приоритет 08.07.91г. заявка № 5019196 зарег. в гос реестре изобр. 20.02.95, бюл. №5
  3. Агеев О.А., Сюрик Ю.В. Способ изготовления композита полимер/углеродные нанотрубки Заявка на патент РФ № 2009113378 приоритет 9.04.2009г
  4. Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Сюрик Ю.В., Толстолуцкий С.И., Федотов А.А., Коломийцев А.С Структура маски рентгеновской литографии для LIGA-технологии Патент на полезную модель РФ № 88187 (заявка № 2009122861 приоритет 15.06.2009г )
  5. Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Сюрик Ю.В. Способ изготовления композита по-лимер/ориентированный массив углеродных нанотрубок Заявка на патент РФ № 2009131991 приоритет 24.08.2009г
  6. Агеев О.А., Джуплин В.Н., Коноплев Б.Г., Михайличенко А.В. Чувствитель-ный элемент неохлаждаемого фотоприемника инфракрасного диапазона Па-тент на полезную модель РФ № 87568 (заявка № 2009118717 приоритет 18.05.2009г )
  7. О.А. Агеев, С.П. Авдеев, Е.Ю. Гусев, Б.Г. Коноплев, А.М. Светличный, Д.И. Чередниченко Способ подготовки поверхности бинарных и многокомпонент-ных материалов Заявка на патент РФ № 2008113559 приоритет 07.04.2008г

Читаемые курсы

  • Методы исследования материалов и структур электроники (210104)
  • Экспериментальные методы исследования и метрология (210601)
  • Методы диагностики и анализа микро- и наносистем (210601)
  • Зондовые технологии (210601)
  • Процессы нанотехнологии (210600)
  • Основы наноэлектроники (210601)
  • Твердотельная электроника (210104)

Руководит научно-исследовательской работой студентов.

Получены медали, дипломы и грамоты:

  1. Агеев О.А. Диплом Министерства образования и науки РФ за руководство науч-ной работой студентов (2007 г.)
  2. Трегубенко А. Ю., Коломийцев А.С., Гусев Е.Ю., Ермоленко А.В., Ильин О.И. Разработка и исследование методов повышения разрешающей способности зон-довой нанотехнологии // Медали Открытого конкурса Министерства образования и науки РФ на лучшую работу студентов по естественным, техническим и гума-нитарным наукам в высших учебных заведениях Российской Федерации, 2007
  3. Сюрик Ю.В. Теоретические и экспериментальные исследования влияния режи-мов формирования приборных структур молекулярной электроники // Диплом Открытого конкурса Министерства образования и науки РФ на лучшую работу студентов по естественным, техническим и гуманитарным наукам в высших учебных заведениях Российской Федерации, 2007
  4. В.В. Пташник, Д.Н. Ралко, О.П. Ерофеева, Ю.С. Кондакова. Автоматизированная установка изготовления зондов для сканирующей туннельной микроскопии. Мо-сква 2007 г. Первое место в конкурсе на лучшее решение с использованием LabVIEW
  5. Коломийцев А.С. Диплом всероссийского конкурса дипломных проектов, ди-пломных работ и магистерских диссертаций в области материаловедения “Мате-риаловедение-2007” 2007 г.
  6. Трегубенко А. Ю. Диплом всероссийского конкурса дипломных проектов, ди-пломных работ и магистерских диссертаций в области материаловедения “Мате-риаловедение-2007” 2007 г.
  7. Коломийцев А.С. Диплом участника второго международного конкурса научных работ в области нанотехнологий “Rusnanotech‘09”, 2009 г.
  8. Сюрик Ю.В. Диплом участника второго международного конкурса научных ра-бот в области нанотехнологий “Rusnanotech‘09”, 2009 г.

Является научным руководителем 9 аспирантов.

Подготовил трех кандидатов наук:

  • Гусев Е.Ю. «Разработка технологических основ электронно-лучевого фор-мирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур». Диссертация на соискание ученой степени канди-дата технических наук. Дата защиты – 18.12.2009 г. Диплом от 12.03.2010 решение N 10к/83) (руководитель).
  • Федотов А.А «Разработка элементов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологии их изготовления». Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Дата защиты – 01.11.2007 г. Диплом ДКН N048305 от 18.01.2008 решение N 2к/85(руководитель).
  • Василенко А.Л. (диплом КТ N082753 от 15.11.2002) (научный консуль-тант).

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru