Южный федеральный университет
Инженерно-технологическая академия
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники
 
ЮФУ ИТА ЮФУ ИНЭП
О кафедре
Учебная работа
Научная работа

Лабораторная база

Лаборатории кафедры НТ МСТ оснащены современным оборудованием для проведения лабораторно- практических занятий, научной работы студентов и аспирантов.

В лабораториях проводятся работы по исследованию свойств материалов электронной техники, изучению физических основ работы полупроводниковых приборов, освоению технологических процессов изготовления микроэлектронных приборов и изделий электронной техники.

Виртуальная экскурсия по лабораториям


Лаборатория зондовых технологий

Расположение: Е-102

Назначение: Проведение лабораторных работ по курсам "Зондовые технологии", "Материалы и методы нанотехнологии", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем", проведение ПНИРС, НИР, дипломирование

Оборудование:

  • Зондовая нанолаборатория NTegra Vita
  • Сканирующий зондовый микроскоп Solver47-PRO
  • Сканирующий зондовый микроскоп NANOEDUCATOR

Технологии:

  • Формирование структур наноэлектроники и молекулярной электроники
  • Нанолитография
  • Формирование массивов квантовых точек
  • Исследование наноразмерных структур
  • Наноманипуляция на атомном уровне
  • Биомедицинские нанотехнологии


Лаборатория элионных технологий

Расположение: Е-103

Назначение: Проведение ПНИРС, НИР, дипломирование

Оборудование:

  • Растровый электронно-ионный микроскоп NOVA NanoLab 600

Технологии:

  • Структурный анализ микро- и наносистем
  • Электронно- и ионнолучевые нанотехнологии
  • Электронолитография

Лаборатория измерений

Расположение: Е-104

Назначение: Проведение ПНИРС, НИР, дипломирование

Оборудование:

  • Система измерения параметров полупроводников Keithley 4200-SCS
  • Зондовая станция ЭМ-6070
  • Нановольтметр Keithley 2182A
  • Источник тока Keithley 6221
  • Пикоамперметр / источник напряжения Keithley 6487
  • Усилитель тока Keithley 428-PROG
  • Генератор импульсов Keithley 3401-R
  • Измеритель LCR Agilent E4980A
  • Осциллограф WP 7100A
  • Установка измерения ЭДС Холла Ecopia HMS 3000
  • Установка бесконтактного измерения удельного сопротивления LEI 1510M40

Лаборатория кластерных нанотехнологий

Расположение: Е-106

Назначение: Проведение ПНИРС, НИР, дипломирование

Оборудование: Многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9

Кластер локальных технологий:

  • модуль сверхвысоковакуумного сканирующего зондового микроскопа
  • модуль травления фокусированным ионным пучком
  • модуль локальных ионно-стимулированных CVD-процессов
  • модуль локальной ионной имплантации

Кластер групповых технологий:

  • модуль молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs и твердых растворов на его основе
  • модуль импульсного лазерного осаждения
  • модуль CVD для выращивания нанотрубок
  • модуль отжига образцов

Технологии:

  • Нанолитография
  • Изготовление элементов наноэлектроники и наномеханики
  • Выращивание углеродных нанотрубок
  • Эпитаксиальное наращивание слоёв с атомарным разрешением
  • Осаждение сверхтонких слоёв иоными пучками и импульсным лазерным осаждением


Лаборатория электронно-лучевых и фотонных технологий

Расположение: Е-113

Назначение: Проведение лабораторных работ по курсу "Специальные вопросы технологии микроэлектроники"; проведение ПНИРС, НИР, дипломирование

Оборудование:

  • Установка электронно-лучевой обработки материалов
  • Установка электронно-лучевого напыления ВУ2-М
  • Лазер "Квант-15"
  • Установки быстрой термической боработки ИТО-18M, ИТО-18MВ

Технологии:

  • Электронно-лучевая модификация поверхности материалов
  • Быстрая термическая обработка с использованием ИК- и УФ-излучений
  • Лазерная обработка материалов


Лаборатория электроники

Расположение: ЕВ-401

Назначение: Проведение лабораторных работ по курсам «Электроника», «Вакуумная и плазменная электроника», «Квантовая и оптическая электроника», «Физические основы микроэлектроники», «Материалы электронной техники»; проведение ПНИРС

Оборудование: Комплекты измерительных приборов для проведения лабораторных работ в составе:

  • Вольтметр универсальный GDM-8246/RS
  • Осциллограф GOS-6130C
  • Генератор сигналов НЧ GAG-810
  • Источник питания GPS-3030 DD

Лаборатория технологии электронных средств

Расположение: ЕВ-403

Назначение: Проведение лабораторных работ по курсам «Технология РЭС», «Специальные вопросы технологии РЭС», «Технологичесие процессы микро- и наноэлектроники», «Технология материалов электронной техники»

Оборудование: Технологическое оборудование для изготовления и контроля печатных плат и гибридных интегральных схем


Лаборатория перспективных информационных технологий

Расположение: ЕВ-404

Назначение: Проведение Лабораторные и практические занятия по курсам «Прикладная информатика», «Информационные технологии проектирования РЭС», «Автоматизация конструкторско-технологического проектирования электронных средств», «Измерения с использованием технологии виртуальных приборов LabVIEW»; проведение ПНИРС; дипломирование

Оборудование: Компьютерный класс 10 машин, учебные лабораторные станции NI ELVIS 5шт., контрольно-измерительная система NI PXI

Программное обеспечение:

  • Пакет компьтерных вычислениий Mathcad 14
  • Среда графического программирования NI LabVIEW 8.2
  • Пакет схемотехнического моделирования Mulisim 9.0
  • Пакет графического проектирования Autodesk Inventor

© 2004-2014 НТ МСТ

Адрес: 347928, г. Таганрог, ГСП-17А, пер. Некрасовский, 44, ТТИ ЮФУ, каф. НТ МСТ
Тел. (8634)37-16-11, (8634)37-19-40
E-mail: tmina@fep.tti.sfedu.ru