ЦКП
Структура:
Деятельность:
Доступ:
Документы:
Оборудование:
Подать заявку:
Контакты:

Лаборатории
Лаборатория микро- и наносистем

Лаборатория материаловедения и технологий

Лаборатория оптоэлектроники

Технологическая гермозона



Поддержка сайта
©Вычислительная лаборатория ИНЭП



Лаборатория материаловедения и технологий

Основные научные направления лаборатории:

  • теоретические исследования процессов энерго- и массопереноса при формировании микроэлектронных и наноразмерных структур;
  • проведение теоретических исследований и разработка нетермически активируемых технологических процессов изготовления структур микро- и наноэлектроники на основе использования некогерентного ИК- и УФ-излучения, лазерного излучения, а также электронно-лучевого воздействия;
  • разработка активируемых технологических процессов формирования наноструктурированных материалов;
  • теоретические и экспериментальные исследования структурных, физико-механических и электрофизических свойств микро- и наноструктур;
  • разработка и изготовление микро- и наноэлектронных преобразователей неэлектрических величин для интегральных микросхем систем мониторинга окружающей среды
  • разработка и изготовление оборудования и технологий микропрофилирования, модификации микроструктуры и элементного состава приповерхностной области подложек, для изготовления интегральных схем микро- и наноэлектроники, а так же оптоэлектронных приборов, на основе электронно-лучевой и быстрой термической обработки.
Электронный микроскоп Nova NanoLab 600

Зондовая нанолаборатория Ntegra Vita

Установка быстрой термической обработки "ИТО-18МВ"
Установка электронно-лучевой обработки
  © 2014 Наноцентр ckpnano@sfedu.ru
347928, Россия, Ростовская обл., г.Таганрог, ГСП-17А, пер.Некрасовский,44, ИТА ЮФУ, ИНЭП, ЦКП "Нанотехнологии"